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垂直面X-Yスキャナ

垂直面X-Yスキャナ

MSTシリーズ

高精度垂直面X-Yスキャナ

  • *アンテナ固定治具は都度設計承ります。

仕様

機械仕様
  • ・重量:60kg
  • ・寸法:1200×1200×800
  • ・位置決め精度:0.03mm
  • ・移動速度:1~60mm/sec
  • ・許容ベンディングモーメント:0.3kg-m
  • ・許容垂直荷重:2kg
  • ・駆動範囲:□450mm
制御仕様
  • ・通信方式:GP-IB
  • ・表示分解能:0.1mm
  • ・最小移動量:0.1mm
  • ・電源:AC100V 7A

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