高精度3軸X-Y-Zスキャナ

• ＊アンテナ固定治具は都度設計承ります。

仕様

機械仕様

• ・重量：約200kg
• ・寸法：W1400×D1400×H1660
• ・位置決め精度：0.05mm
• ・移動速度：0～60mm/sec
• ・許容垂直荷重：2kg
• ・駆動範囲：X-Y□600mm Z400mm

制御仕様

• ・通信方式：GP-IB
• ・表示分解能：0.1mm
• ・最小移動量：0.1mm
• ・電源：AC100V　7A