3軸スキャナー
- 3軸(X軸、Y軸、Z軸）同時制御可能
- 高精度（分解能0.016mm、繰返し精度0.05mm)
- GP-IB制御が可能です。
| サイズ | 1,360（W）×1,480（D）×1,700（H）※突起物含まず |
| 重量 | 200kg |
| Z軸最大過般重量 | 4kg |
| 移動範囲 | 自動 X-Y軸 600mm Z軸 400mm |
| 下部手動Z軸 | 100mm |
| 移動速度 | 1mm/sec〜60mm/sec |
| 制御分解能 | 0.016mm |
| 繰り返し位置制度 | 0.05mm |
| 最小移動距離 | 0.1mm |
| 制御方法 | GP-IB(IEEE488.2準拠)コマンド制御 |
| 電源仕様 | 本体:AC100V 10A コントローラ：AC100V 5A |
